近紅外波段光子晶體的微細(xì)加工方法研究進(jìn)展

光子晶體及其在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用是目前國際上的研究熱點(diǎn)之一,是一種新型的光電子功能材料.在近紅外光通訊領(lǐng)域中,光子晶體(對(duì)應(yīng)光子晶體晶格常數(shù)為亞微米)有非常重要的應(yīng)用,可以制作許多以前所不能制作的高性能光學(xué)器件.如何制備用于光通訊領(lǐng)域的光子晶體越來越引起廣泛關(guān)注.本文綜述了近紅外波段光子晶體的微細(xì)加工制備方法的研究進(jìn)展.

作 者： 汪揚(yáng) 宋志棠 章寧琳 林成魯   作者單位： 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海,200050  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(3)  分類號(hào)： O734  關(guān)鍵詞： 光子晶體   亞微米   微細(xì)加工制備方法  

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