Ag摻雜對ZnO薄膜的光電性能影響

采用超聲噴霧熱分解法在石英襯底上以醋酸鋅水溶液為前驅體,以硝酸銀水溶液為Ag摻雜源,以高純O2為載氣生長了Ag摻雜ZnO(ZnO∶Ag)薄膜.研究了Ag摻雜ZnO薄膜的表面結構、電學和光學性質.結果表明所得ZnO∶Ag薄膜表面結構良好,掃描電子顯微鏡(SEM)測試表明薄膜表面光滑平整,結構致密均勻;在室溫光致發光(PL)光譜中檢測到很強的近帶邊紫外發光峰;透射光譜中觀測到非常陡峭的紫外吸收截止邊和較高的可見光區透過率,表明薄膜具有較高的晶體質量與較好的光學特性;霍爾效應測試表明,在550 ℃下獲得了p型導電的ZnO∶Ag薄膜.

作 者： 王經緯 邊繼明 梁紅偉 孫景昌 趙澗澤 杜國同 WANG Jing-wei BIAN Ji-ming LIANG Hong-wei SUN Jing-chang ZHAO Jian-ze DU Guo-tong   作者單位： 大連理工大學,三束材料改性國家重點實驗室及物理與光電工程學院,遼寧,大連,116024  刊 名： 發光學報  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE  年，卷(期)： 2008 29(3)  分類號： O472.3 O482.31  關鍵詞： ZnO∶Ag薄膜   超聲噴霧熱分解   p型摻雜   Hall效應  

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