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全氯取代酞菁鋅的合成及其Cl2氣敏性研究
本文以四氯鄰苯二腈和尿素為原料,采用鉬酸銨固相催化法合成了全氯取代氯酞菁鋅,并通過紅外、紫外光譜對其進行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技術制造了敏感電極,采用蒸發(fā)鍍膜工藝制作了氣體傳感器薄膜.氣敏測試結果表明:該傳感器對氯氣有較理想的靈敏特性.
施云波,Shi Yunbo(哈爾濱理工大學測控技術與通信工程學院,哈爾濱:150080;哈爾濱工程大學機械工程博士后科研流動站,哈爾濱:150001)
李贊,LiZan(哈爾濱學院生命科學與化學學院,哈爾濱:,150086)
王立權,Wang Liquan(哈爾濱理工大學測控技術與通信工程學院,哈爾濱:,150080)
刊 名： 陶瓷學報 ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF CERAMICS 年，卷(期)： 2008 29(3) 分類號： O484.4 關鍵詞： 全氯取代酞菁鋅 表征 氣敏性【全氯取代酞菁鋅的合成及其Cl2氣敏性研究】相關文章：
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