二極管p-n結(jié)雜質(zhì)濃度分布模型改進(jìn)

簡化的突變結(jié)或線性緩變結(jié)模型已能很好地近似二極管p-n結(jié)雜質(zhì)濃度分布規(guī)律,但從精密的實(shí)驗(yàn)測量結(jié)果中發(fā)現(xiàn)傳統(tǒng)模型存在局限性.基于隨機(jī)選取常用產(chǎn)品的C-V實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),利用泊松方程并結(jié)合提出的改進(jìn)模型,可以更準(zhǔn)確地描述p-n結(jié)雜質(zhì)濃度分布.雖然部分樣品C-V關(guān)系可由指數(shù)1/2或1/3獨(dú)立表示,但數(shù)據(jù)擬合分析顯示采用指數(shù)n=1/2和n=1/3兩模型分量共同描述更合理.模型改進(jìn)可獲得更準(zhǔn)確的p-n結(jié)雜質(zhì)濃度分布規(guī)律及物理參數(shù).

作 者： 李潮銳 劉小偉 LI Chao-rui LIU Xiao-wei   作者單位： 中山大學(xué)物理科學(xué)與工程技術(shù)學(xué)院,廣東,廣州,510275  刊 名： 中山大學(xué)學(xué)報（自然科學(xué)版）  ISTIC PKU 英文刊名： ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI  年，卷(期)： 2008 47(3)  分類號： O474  關(guān)鍵詞： p-n結(jié)   雜質(zhì)濃度   C-V法   泊松方程  

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