多孔硅整流特性研究

從多孔硅的最基本的器件結構--金屬/多孔硅/硅入手,研究這種結構的電學性質:整流特性,對進一步理解和提高多孔硅的電致發光和多孔硅在其它一些電學方面的應用有著積極的意義.用電化學腐蝕法制得多孔硅,對多孔硅電化學氧化和氮氣氣氛下退火,研究這兩種后處理方式對多孔硅整流特性的影響.多孔硅經高濃度硫酸電化學氧化后,整流特性消失;多孔硅經氮氣氣氛下退火后,整流特性增強;分析了相應的機理.

作 者： 彭愛華 PENG Ai-hua   作者單位： 中國石油大學,華東,物理科學與技術學院,青島,266555  刊 名： 科學技術與工程  ISTIC 英文刊名： SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 9(21)  分類號： O472.4  關鍵詞： 多孔硅   整流特性   退火  

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