全息平面變間距光柵位移傳感器研究

基于變間距光柵位移傳感器的基本原理,研究了高線密度變化率全息平面變間距光柵的制作方法.所作的變間距光柵已應用在變間距光柵位移傳感器中,原理樣機測試結果表明,系統分辨率可以達到0.05 mm,相對誤差可以控制在0.2% FS之內,優于設計指標.

作 者： 樓俊 付紹軍 劉正坤 徐向東 何世平 李秉實 吳忠 LOU Jun FU Shao-jun LIU Zheng-kun XU Xiang-dong HE Shi-ping LI Bing-shi WU Zhong   作者單位： 樓俊,LOU Jun(中國計量學院,光電子技術研究所,杭州,310018;中國科學技術大學,國家同步輻射實驗室,合肥,230029)

付紹軍,劉正坤,徐向東,何世平,FU Shao-jun,LIU Zheng-kun,XU Xiang-dong,HE Shi-ping(中國科學技術大學,國家同步輻射實驗室,合肥,230029)

李秉實,吳忠,LI Bing-shi,WU Zhong(西安航空618研究所,西安,710065) 

刊 名： 光子學報  ISTIC PKU 英文刊名： ACTA PHOTONICA SINICA  年，卷(期)： 2007 36(4)  分類號： O436 TH7  關鍵詞： 全息光柵   變間距光柵   位移傳感器  

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